Centrotherm baut Halbleitersparte aus: Kooperation mit Sematech

Blaubeuren / Albany, USA – Die centrotherm photovoltaics AG will zusammen mit dem Halbleiter-Konsortium Sematech Niedertemperaturprozesse für Logik- und Speicherbauelemente entwickeln. Zu diesem Zweck ist die centrotherm-Tochter centrotherm thermal solutions GmbH & Co. KG dem Front End Prozess (FEP) Programm von Sematech beigetreten. Die Partnerschaft sei Teil der Unternehmensstrategie, den Halbleiterbereich weiter auszubauen. Ziel des FEP-Programms sei die Entwicklung von Materialien, Prozesstechnologien, Bauelementmodule und Charakterisierungsmethoden für die Miniaturisierung von Logik- und Speicheranwendungen.

Niedertemperaturprozesse für Bauelemente unter 14 Nanometer
Im Rahmen der Kooperation soll centrotherms neu entwickelte Niedertemperatur-Plasmaoxidationsanlage helfen, durch sehr niedrige Prozesstemperaturen neuartige Materialien in zukünftige Bauelementtechnologien zu integrieren. Das FEP-Forschungsteam und centroterm wollen Teststrukturen für plasmabasierte Niedertemperaturprozesse optimieren. Ziel sei, die Anwendbarkeit der Niedertemperaturprozesse für Logik- und Speicherbauelemente mit Strukturbreiten kleiner 14 Nanometer zu demonstrieren.